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    真空室選擇真空系統考慮那些條件

      真空系統的核心是真空室,它是為特定應用量身定制的。它包括應用程序,并可靠地將其與外部隔離,或防止環境受到內部過程的影響。無論干燥過程是否需要高真空環境,等離子過程都需要在中真空或高真空環境中進行,并且表面研究也需要在高真空環境中進行:真空室必須始終機械承受來自大氣的壓力差。

      真空室是廣泛應用于現代制造工業和科學研究的基本裝置之一,例如電子工業、信息產業的大規模印刷線路、集成電路和大面積超導薄膜的制備等,真空沉積過程中通常對真空度都有較高的要求。真空沉積時真空室的漏氣、真空室壁面的放氣和被蒸發材料本身的放氣都可能導致真空室內真空度的快速變差,因此需要采用相應的措施快速改善真空室內的真空度。目前,在保證真空室良好密封性的前提下,采用具有大抽速的鈦升華泵可以使真空室快速達到超高真空度。由于鈦在升化和沉積的過程中,與活性氣體結合成穩定的化合物——固相的TiO或TiN,從而能夠快速將真空室內的氣體分子抽除。

      針對現有技術的不足,本發明的目的就是提供一種費用相對低廉的快速提高真空室專用真空系統真空度的方法。

      為實現上述目的,提供一種快速提高真空室真空度的方法,在真空室內,使活性高且穩定性好的金屬蒸發形成蒸氣粒子,并將該蒸氣粒子沉積于金屬板表面形成金屬膜,金屬粒子及其形成的新鮮金屬膜可以快速吸附真空室內的氣體分子,并進一步生成穩定的固態物質。在真空室內,采用蒸發方式,使少量活性高且穩定性好的金屬材料蒸發為蒸氣粒子,蒸氣粒子迅速與真空室內的水蒸氣、氧氣、氫氣等氣體發生反應,生成穩定的固態物質,從而達到快速提高真空室的真空度的目的。采用本方法提高真空室專用真空系統的真空度,不僅費用低廉而且迅速高效。

      通過引入真空系統專用真空系統,為了達到最佳配置,在選擇真空系統時,應考慮以下幾點:

      1.確定工作真空范圍

      首先必須檢查確定每個過程所需的真空度。由于每個過程都有自己的真空度范圍,因此必須仔細研究。

      2.確定極限真空

      真空泵系統的極限真空度是在確定過程所需的真空度的基礎上進行檢查的,因為系統的極限真空度決定了系統的最佳工作真空度。通常,系統的極限真空度比系統的工作真空度低20%,比前級的極限真空度低50%。

      3.真空度

      檢查達到所需真空度所需的時間,真空管道的流阻和泄漏??紤]在達到所需真空度后在某些過程要求下保持真空度所需的抽氣速率。

      4.抽氣類型和抽氣量

      檢查泵送的類型和所需的泵送量,以確定過程。因為如果所泵送的氣體類型與真空泵中的液體反應,則真空系統將被污染。同時,必須考慮確定適當的排氣時間和在泵送過程中產生的氣體量。

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